Web Content Display Web Content Display

2015年11月11日から13日まで、富山国際会議場で開催される
「International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2015)」に出展いたします。

この展示会において当社は、EB露光装置およびEB測長装置をパネルにてご紹介いたします。
皆様のご来場を心よりお待ちしております。

展示会名称 28th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2015)
会 期 2015年11月11日(水)13:00 - 19:00
2015年11月12日(木)9:00 - 18:00
2015年11月13日(金) 9:00 - 15:00
会 場 富山国際会議場2Fロビー
ブース番号 小間番号 2

出展製品

  • EB露光装置「F7000」

    1Xnmノードの微細パターンを、ウエハやナノインプリント用テンプレートなどに直接描画

    F7000
  • WAFER MVM-SEM®「E3310」

    ウエハ上の微細パターンを3D計測し、1Xnmノードプロセスでの安定かつ高精度な測定を提供

    E3310