Probo No.38 のおもな内容 Probo No.38 のおもな内容

強誘電体薄膜による高速光変調器の開発

執筆者	（株）アドバンテスト研究所　増田　伸　ほか
あらまし	LSIの伝送ボトルネックを解消するため、電気インタフェース（IF）を光IFに置き換え伝送容量を増大させようとする試みが近年活発化してきている。このような光IFを有するLSIを試験する光テスト・システムにおいても電気試験信号を光信号に変換する小型で多chの高速光変調器が重要となる。一般に高速光変調器はLiNbO3（LN）を用いたものが主流であるが、LN材料の電気光学係数が小さいことから、素子の小型化、集積化は難しく、新材料による光変調素子への期待が高まっている。本研究では、強誘電体材料のエピタキシャル成膜技術により従来材料の10倍程度の電気光学係数を有するPLZT薄膜を実現し、さらに高速光変調器を設計するために必要な電気光学定数、高周波領域における誘電特性などの材料定数を明らかにした。また、数十GHzを越える高速光変調動作を可能にするため、マイクロ波と光波の速度を整合させた進行波型コプレーナ電極構造を開発した。その結果、従来材料の1/5程度の素子長で40Gbps動作が可能であるPLZT光変調器を初めて実現した。
Key Words	なし

多値信号インタフェースのリアルタイム試験方式

執筆者	ATEユニット開発本部　第5開発部　FTテクノロジー開発2課　石田　雅裕　ほか
あらまし	本稿は、多値信号インタフェースのリアルタイム試験方法を提案する。提案手法は、受信器デバイスの電圧ノイズ耐力試験を可能とする多値ドライバと、新しい動的しきい値方式に基づく多値コンパレータを用いる。動的しきい値方式は、コンパレータの並列数を増やさないため、高速信号の試験システムに向いており、さらなる多値化にもスケーラブルに対応できる。65nm CMOSプロセスで試作した回路を用いた実証実験の結果を示し、提案方式の応用についても議論する。
Key Words	多値信号インターフェイス、リアルタイム・ファンクション試験、多値ドライバ／コンパレータ、動的しきい値方式，65nm CMOSプロセス

At-Speedキャラクタライズや製品試験のためのATEテスト・セル開発

執筆者	Advantest Europe GmbH　Jose Moreira
あらまし	この論文では、複雑なマルチ・ギガ・ビットICのトータル・キャラクタライズや製品試験のためのテスト・セル開発について述べる。本提案の目的は、キャラクタライズ・テストから初期生産への移行が最小限に実現できる直接的方法であり、同時にICのキャラクタライズを制限しないものである。また本提案は、テスト・エンジニアがDUTのキャラクタライズに使用するすべての外部測定器を使用できるよう、柔軟に対応している。
Key Words	なし

技術解説

稼働データ可視化による顧客指向GUIの実現

執筆者	FA商品開発部　HS開発1課　南齋　雄一
あらまし	Handler Data Visualization Framework（HDVF）はハンドラの各種データの書き込みAPI、およびデータの取得、視覚化を実現するためのフレームワークを提供する。本フレームワークを利用し、ハンドラの性能を数値化、視覚化することによって、「問題の発見」、「解決のための意思決定」、「問題の収束」の判断を迅速に行うことを可能とした。このフレームワークのアーキテクチャと設計思想について紹介する。
Key Words	なし

新コンセプトNANDフラッシュ専用テスタ技術

執筆者	ATEシステム開発本部　第8開発部　山部　雅彦
あらまし	NANDフラッシュ・メモリは高い成長率が予想されているが、容量増加にともなうテスト時間の増大などテスト・コストの上昇に対して解決策が必要となっている。機能をNANDフラッシュ・メモリの量産に特化し、テスタ構造の工夫や汎用デバイスの流用、新規Test Processer（TP）採用などを実施し、従来以上の高スループットを実現しながら、小型で低消費電力なテスタを開発した。
Key Words	なし

クロス・ドメイン・アナライザによる解析事例

執筆者	RF測定器事業部　開発部　開発1課　飯田　実　ほか
あらまし	クロス・ドメイン・アナライザU3800シリーズは、従来のスペクトラム・アナライザと同様の周波数掃引による解析機能に加え、2チャンネル同期RF入力により測定した2信号間の位相差測定など、従来に無い測定機能を持つ。そのため既存測定器では観測困難だった複雑なRF信号の振る舞いも多面的な視点から的確に捉えることが可能である。本稿にてクロス・ドメイン・アナライザの持つ各種機能と解析事例を紹介する。
Key Words	広帯域時間軸解析、２チャンネル同期測定、位相差測定、ベクトル演算機能、Ｘ math(クロスマス)