Probo No.45のおもな内容 Probo No.45のおもな内容

技術論文

エピタキシャルPLZT薄膜を用いた集積型機能素子の開発

執筆者 株式会社アドバンテスト研究所　Оプロジェクト　川崎　俊史 ほか
あらまし 近年、光インターフェース有するLSIを試験するテストシステムにおいて、光源、光変調器、スプリッタ、可変光アッテネータ等の光素子が必要となる。これらの素子を微細化させ集積化することはシステムの小型化、低駆動電圧化、低コスト化の点で有用である。そこで、大きな電気光学係数を有する[(Pb,La)(Zr,Ti)O3](PLZT)材料に着目し、当社独自の成膜技術による結晶欠陥が少ないエピタキシャルPLZT薄膜に集積化することで高機能な光チップを実現することが可能になる。本論文では、集積化のために必要な要素デバイスについて報告する。
Key Words PLZT, Optical Modulator, Optical Splitter, VOA, SSC

QAM信号インターフェイスのリアルタイム・ファンクション試験を可能とするATEシステムの提案

執筆者 テクノロジー開発本部　第5開発部　FTテクノロジー開発２課　一山　清隆 ほか
あらまし 近年、RFデジタル通信システムに対する低コストな代替試験方式として、RFデバイスのリアルタイム・ファンクション試験の必要性が高まっている。本稿では、QAM信号インターフェイスをもつRFデバイスを試験可能なATEシステムを提案する。提案システムは、直接変復調のコンセプトに基づく多値ドライバと多値コンパレータを備える。多値ドライバは、4-QAM信号および16-QAM信号を直接変調で生成する。多値コンパレータは、直接復調をもちいてベースバンド・データとその期待値を比較する。多値コンパレータは、被試験信号の期待値に応じて動的にしきい値電圧レベルを変更する動的しきい値方式を採用している。この構成は、さまざまな信号インターフェイスを試験するのに適している。試作回路をもちいた実験により、提案方式で2.4-GHzの16-QAM信号をリアルタイム試験できることを示す。
Key Words なし

アプリケーション

テストハンドラにおける高精度ビジョンアライメント機能の開発

執筆者 FA事業部　FA商品開発部　先行技術開発課　小野澤　正貴 ほか
あらまし 近年、スマートフォン等の小型化に伴い、デバイス端子のファインピッチ化が進んでいる。それに対し、後工程試験において従来のデバイス外形を基準としたメカアライメント方式ではアライメント精度に限界があるため、コンタクト不良による歩留り低下につながる。そこで、多数個測定に対応し、かつコンタクト精度を飛躍的に向上させるため、デバイス端子基準の高精度位置決めを行うビジョンアライメント方式のハンドラを開発した。
Key Words なし

T2000におけるアナログ半導体試験プログラム生成環境

執筆者 SoCアプリケーション・エンジニアリング　T2000 AE　高橋　明 ほか
あらまし 近年、半導体の高集積化と高機能化が進み、特性試験項目は増加傾向にある。一方で半導体製品の早期市場展開のために、それらの開発時間・工期の短縮が欠かせない。
そこで、アドバンテストは、Automatic test Program Generator（APG）による半導体試験プログラム（以下、試験プログラム）の開発時間を短縮するためのソリューションを提供する。本稿では、APGの代表的な機能の説明およびその効果を紹介する。
Key Words APG、TPC、TPE、試験プログラム開発時間の短縮