Probo No.54のおもな内容 Probo No.54のおもな内容

InGaNバックバリア構造を有するGaN HEMTを用いた光ATE向け40 GHzリニアドライバーアンプの開発

執筆者	(株)アドバンテスト研究所　対馬　孝弘 ほか
あらまし	近年のデータ伝送量の増加に伴い、高速光インタフェースを試験する光ATEの需要が高まっている。本稿では、新たに開発した線形性と高速性を有するGaN-HEMT(窒化ガリウム高電子移動度トランジスタ)を用いて設計した分布形増幅器構成の光ATE向けリニアドライバーアンプについて報告する。本ドライバーアンプはゲイン特性12 dB、-3 dB帯域44 GHz、40 Gbaud NRZ評価でアイ振幅≧8.4 Vppを実現した。
Key Words	ATE, MMIC, GaN HEMT, Distributed, Amplifier

Local Sweep Digitizing方式による超広帯域変調信号測定

執筆者	(株)アドバンテスト研究所　浅見　幸司 ほか
あらまし	近年、無線通信では広帯域化が進んでおり、第5世代移動通信（5G）では400MHz、無線LAN (IEEE802.11ad)では約2GHzの帯域幅が採用されている。そのため、これらの通信で使用されるデバイスを評価するためには、広帯域の波形デジタイザが必要となる。本論文では、2GHzにおよぶ超広帯域信号を、安価に精度よく取り込む「Local Sweep Digitizing方式」について紹介する。高い周波数で送信される広帯域の信号を中間周波数へダウンコンバートしながら数百MHzのサブバンドへ分解し、低速の波形デジタイザによりサブバンドごとに取り込む手法である。取り込んだ波形は、後段のデジタル処理により合成する。このとき、各サブバンドのキャリヤ位相や変換ゲインを一致させるための補正処理を施している。本手法では、単一の低速高分解能のAD変換器で、広帯域信号を取り込むことができ、Local Sweep部の調整により取り込む帯域幅の調整も可能である。
Key Words	5G, Wireless LAN, Transceiver, ATE, waveform digitizer, subband synthesis

フォトニック結晶パターンにおける電子ビーム（EB）露光機のフォギング効果検証

執筆者	ナノテクノロジー事業本部　システム・エンジニアリング部　SE1課　早河　裕文 ほか
あらまし	電子ビーム露光機は、主にLSI回路検証やプロトタイプ生産などの研究目的に使用されています。シリコンフォトニクスデバイスと５Gのゲートパーツの著しい進歩により、電子ビーム露光機で大面積を露光する機会が増加しました[1,2]。大面積の露光では、CDの均一性を悪化させる主な要因の1つにフォギング効果があり、その補正方法がいくつか報告されています[3]。今回、Advantestの電子ビーム露光機F7000Sを用いて、フォギングの影響範囲と影響度を検証しました。この検証結果と、実パターンの露光結果の関係に妥当性があるかを確認しました。実露光パターンは、フォトニック結晶パターンを用い、レジストは、代表的な2種類を使用しました。その結果を報告します。
Key Words	E-Beam writer, CD, fogging effect