イメージング解析：試料の内部構造を非破壊測定

膜厚分布や断層解析などの2D／3Dイメージング解析が可能

• 膜厚、密度分布解析
• サンプルの内部構造を非破壊解析
• 内部マニュピレータで最大10個のサンプルを自動測定