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PLMCN17

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2016年3月28日から31日まで、東大寺総合文化センター内で開催される国際会議「17th International Conference on Physics of Light-Matter Coupling in Nanostructures (PLMCN17)」にて展示を行います。

この国際会議において当社は、EB露光装置およびEB測長装置をパネルにてご紹介します。
皆様のご来場、心よりお待ちしております。

展示会名称 17th International Conference on Physics of Light-Matter Coupling in Nanostructures (PLMCN17)
会　期 2016年3月28日（月）～3月31日（木）
会　場 東大寺総合文化センター

出展製品

  • EB露光装置「F7000」

    1Xnmノードの微細パターンを、ウエハやナノインプリント用テンプレートなどに直接描画

    F7000

  • WAFER MVM-SEM®「E3310」

    ウエハ上の微細パターンを3D計測し、1Xnmノードプロセスでの安定かつ高精度な測定を提供

    E3310