MPT3000はVGEM (Virtual GEM)ソリューションで SECS/GEM(*) に準拠した自動化テスト工程環境をサポートします。
(*) SECS/GEM（SEMI Equipment Communications Standard / Generic Equipment Model）は半導体製造分野における国際標準規格を定めるSEMIによって規定された通信プロトコルです。
MPT3000 VGEM 自動化ソリューション
MPT3000 VGEM オートメーションの機能：
- SECS/GEM通信プロトコルを使用した量産試験工程（HVM）を支援
- SECS/GEMホストサーバーによる製造工程のトラッキングとデータ収集
- SEMIスタンダード対応（E5, E30, E40, E90, E39, E37-95, E37.1-95, E122-0703）
- GEM規格に準拠（第三者機関による認証）
- 量産試験工程（HVM）における安定したSECS/GEMメッセージ交換
- ツールイベントおよびデータ収集
- レシピ管理
- エラー対応
- 状態モデル、データ収集、UI、レポーティング
- 半導体製造プロセスに応じてカスタマイズが可能
- VGEM User Interface（VUI）の活用例:
- デバイスの自動挿抜
- アラームモニタリング
- ハードウェアコントロール
- サーバのコントロール
- カスタマイズ可能なUI
- SSDテスト状況の表示
- 各装置の状況表示
- SECS/GEMホストサーバーとのターミナルメッセージ交信
- 試験結果レポート
MPT3000 VGEM オートメーションの特長：
- SECS/GEMプロトコルで動作する量産工程環境の垂直立ち上げが可能
- オペレーターの入力エラーを削減
- 効果的な試験レシピ管理によって、半導体製造工程の効率化を実現